B o r e n H u T

Point 35 Microstructure公司共同创始人以及销售总监Tony McKie不久前在上海表示，金融危机对全球MEMS市场“几乎没有”影响。“虽然消费类应用占据了MEMS市场近50%的市场份额，但是包括手机、游戏控制器、玩具、GPS、笔记本电脑以及硬盘等在内的新兴应用将会填补这一变化留下的空缺。”McKie说。

 

图题：Point 35 Microstructure的MEMS制造技术结合了垂直和横向两种蚀刻工艺

消费性应用推动，2009增至80亿美元

来自Information Network的数据表示，2008年全球MEMS器件出货量增长25%，达到25亿颗，营收也随之增长11%左右，接近78亿美元。该公司预计，到2012年MEMS市场总额将会达到154亿美元，而消费类电子仍将占据46%的份额，消耗掉价值为71亿美元的MEMS器件。“MEMS已经成为喷墨打印机以及数码相机等消费类电子产品中的一项标准配置，此外采用了3D传感器和加速计的MEMS器件正在包括手机、游戏控制器、玩具、GPS、笔记本电脑以及硬盘等在内的新兴应用中找到新的市场。”Mckie表示。

多年来一直追踪MEMS市场变化的法国市场研究与战略咨询公司Yole Development不久前发布的一份报告显示，2009年全球MEMS市场仍将温和增长。这份由EE Times转载的报告称，该公司CEO Jean Chirstophe Eloy表示，2009年全球MEMS市场总额将增长至80亿美元左右。虽然权重较小的汽车类业务会下降10%左右，不过，占大头的消费类应用则会增长5%，从32.6亿美元增长至36亿美元。

Mckie是在一年一度的Semicon针对全球MEMS市场做出上述评论的。与此同时，该公司还展示了旨在为MEMS设计师提供更多生产选择、并提供更加宽泛的工艺窗口和各种工艺控制的汽相氧化物释放蚀刻模块技术。来自英国苏格兰的Point 35 Microstructure创建于2003年，以提供各种高质量的翻新半导体制造系统起家。2004年，该公司进入MEMS领域，推出了自有的messtar系统。

创新工艺带来更大设计自由度

Mckie表示，目前晶圆厂中鲜有专为MEMS制造而设计的。相反，大部分都采用已有的设备进行MEMS生产。虽然部分MEMS制造的确可以采用现有的光刻、薄膜气相沉积等工艺进行，但诸如深反应离子蚀刻、等向性蚀刻、抗粘滞薄膜等被认为是MEMS发展趋势工艺制程却必须要使用特定的制造设备。

传统的MEMS工艺主要以干法蚀刻为主，不过由于它是一种垂直工艺，比如在如图所示的需要横向工艺来将底部掏空的场合就无法胜任。“这无疑会对MEMS设计工程师的自由度造成局限，进而影响到他们无法再特定的器件技术下无法选择最优的工艺集成方案。”Mckie表示，“此外，湿法刻蚀(如KOH溶液)还无法同CMOS技术兼容，并带来工艺控制程度低、释放粘滞(Release stiction)、对集成电路可能造成破坏以及环境问题等诸多不良影响。”

MEMS制造如何摆脱湿法刻蚀带来的困境？选择新的材料无疑是一条必由之路。不过，这里要强调的是，寻找一种能适应某种工艺的材料可能是一个错误的方向。Point 35的选择是——寻找一种能够适应器件需求的材料。这就是被称之为牺牲性汽相释放(SVR)模块技术的由来。

Mckie介绍，与湿法化学的蚀刻不同，SVR可以完全取出材料而不损坏机械结构或产生黏附问题，而且还具有高度的可选择性、可重复性以及均匀性。此外，SVR保留了干燥的表面，省去了包含在湿法工艺中的表面准备、引入酸、中和以及随后的干燥等步骤。而同CMOS工艺兼容的优势也令MEMS器件如IC般在相同的设施和基板上进行生产，并适用于新类型的单芯片MEMS/CMOS器件。

Point 35 Microstructure的SVR工艺采用XeF2作为升华物(Sublimating Solid)，无水氢氟蒸汽aHF来去除牺牲氧化物，从而释放MEMS机械结构。

拿下中国买家

“汽相工艺对满足MEMS设计技术的发展需求起着至关重要的作用。”Mckie指出，“Point 35 Microstructure完备的SVR工艺组合支持氧化物和硅释放技术，这些将领设计师和制造商充分认识到MEMS广泛的应用中蕴藏的巨大市场潜力。”

由于Memssstar可以覆盖从设计研发到产品量产的全面需求，经过更换模块就能轻松实现，为研发到量产节省重新购置机台的费用。Point 35 Microstructure技术也吸引了中国晶圆厂的注意。

“今年7月，将有一台Memsstar机台进入中国晶圆厂。”Mckie透露。

一直以来，我在这个blog上写的都是偏重学术的文章。这一期就换一下口味吧，在这里
聊聊我日常的生活。

在外面的人看来，MIT这所理工科的殿堂，或多或少有一点神秘的色彩。网上流传着很多
关于这个学校的故事，包括Hacker，超负荷的课业，还有各种怪才。这些东西确实真实
地存在着，却不是这里校园生活的主流。对于研究生来说，这里的日常生活是相当单调
的，这种平凡得乏善可陈的生活和他们特别强调创新的研究工作形成了一种有趣的对比
。

PhD的生活方式在很大程度上会受到导师的指导风格的影响。在这里，你问100个不同的P
hD，他们会告诉你100种不同的生活方式——但是有一点是共同的，大家的工作都很繁忙
。还是说说我自己的吧。在读master的时候，我只需要每过相当长的时间向汤老师汇报
一次就行了；而在这里，我必须与三位不同的指导者讨论我的研究。

首先是Eric Grimson，他是我的正式的supervisor。但是，他有另外一重身份——MIT
EECS的head，由于管理方面的事务极为繁忙，他在学术界上已经不太活跃了。我一般每
个学期会和他有一到两次meeting，对自己的工作做一般性的汇报并且听他的建议，时间
不长，通常是30到40分钟。向他做的报告，必须非常简明扼要，再复杂的topic，必须在
5分钟内说完，并且要把要点说清楚，这对我来说是一个不小的挑战。然后他会向提出一
些问题，并且对以后的大方向提出一些建议。对我来说，我并不期待这个简短的交流过
程对我具体的 research有多大的帮助，最主要的是要获得他对我的研究方向的持续支持
。

然后是John Fisher，这里的一位Principal Scientist，他是我直接work with的人。和
他的接触是相当频繁的，每周会有一次reading group，还有一次一对一的research
meeting。在research meeting上，我会很具体的和他讨论我的研究，包括很多细节上的
东西。一般来说。他会有很多建议，但是，仅仅是建议，没有要求我必须这样做——事
实上有起码50%的建议，会被我当场驳回。不过，这并不影响我和他之间良好的合作，我
们都认为这些是正常学术讨论中很自然的事情。

还有就是 Alan Willsky了，LIDS的co-director。他是一个非常渊博的学者，对非常多
的学科（信号处理，控制论，统计学习，数学）都着广泛而深刻的了解。每个星期，他
和与他有关的学生进行分组讨论，我在其中的一组。我的研究涉及的相当重要的部分—
—李代数和微分方程，正是他非常熟悉的领域。一方面，我能够从和他的讨论中学到很
多东西，事实上，我研究过程中的很多进展都得益于他的启发。另外一方面，他对这个
领域太熟悉了，要让这方面的工作得到他的欣赏，是非常困难的。

在这里进行的研究，和我在MSRA或者CUHK做的研究有一个很不一样的地方，我的导师们
非常强调一个工作是不是具有开创性的学术价值，而一个算法在实际中work不work，虽
然也很重要，但不是放在最核心的地位的。我和他们讨论的绝大部分时间都是理论和方
法论上的探讨，至于算法怎么在实验中更好的performance，他们assume是学生自己在实
验过程通过各种方式中达到，这些东西如果和理论核心没有特别关系就不会是讨论的主
要议题了。这不代表MIT或者CSAIL的全部，不过在我所在的“小环境”里，理论倾向是
非常明显的。

在这里，不会有特别的paper或者project的压力，研究是自然地推进的，受会议deadlin
e的影响会有一些（deadline前，如果刚好有一项工作差不多成熟了，需要多花点时间整
理成paper），但不是特别明显。研究的最终目标是形成一份有重要影响的PhD thesis，
因此，我们不会特别围着CVPR/ICCV/ICML/NIPS之类的会议转。如果留心统计的话，MIT
在这些会议上发的文章不会比一个普通的学校多，但是在这里所完成的工作的长远影响
远大于一般的学校。

能来到这里的学生，多多少少都希望能在学术上有自己的价值，而不仅仅是毕业后有一
份还说得过去的工作——如果仅仅为了这点，用不着来这里，花那么长的时间（在我身
边的同学里，5年甚至更长的很普遍的）读一个PhD。不过，现实中总是有着很多的压力
和诱惑一点一点地消磨着学术上的理想。一方面，不是在paper-driven的氛围中工作，p
ublication list的增长变得不那么迅速和激动人心；而对于高impact的研究的追求则时
常会陷入挫折，推进缓慢。另一方面，faculty的opening逐渐减少和竞争日趋激烈，让
前景变得不再是那么明朗。

与之相对比的是来自学术界以外的诱惑，比如工业界，华尔街，和管理咨询公司，它们
一直以来都相当青睐从这里出去的学生（无论何种专业），而且有着极富竞争力的待遇
。MIT统计了去年的top 5 employer: McKinsey, MIT, Google, Booz Allen, 和Boston
Consulting Group，其中三家是顶尖的咨询公司；此外，虽然现在处在金融危机的时代
，Morgan Stanley等的著名金融公司的校园招聘还在如常进行，仍旧吸引着很多的学生
——而这个学校的学生里面，真正读管理和金融的是比例很小的——这说明了，很多理
工科专业的同学去做consultant或者trader了。

这是一种令人困惑或者迷惘的对比。一部分人一直坚持自己的学术理想并取得成功（按
照去年的统一，MIT的博士毕业生进入Education的占30%，我相信这里面大部分人并不是
去教中学或者小学:-) ），而另外一部分人走进了商业的世界。这没有谁好谁不好的比
较，每一次的人生选择都是一种choice——没有标准答案的choice。但是，一旦做出了
选择，就意味着你在享受这种选择带给你的一切好的东西的同时，也必须承担所伴随的
责任。

直到今天，我依然很执着地认为我会选择学术的道路，这是我内心中觉得最有价值的事
情。如果到华尔街去，在为自己创造了财富的同时给世界上的其他人留下了什么——我
想今天的局势或多或少表明了这个问题的答案。如果在科学上做出了真正的贡献，那么
将给这个世界（至少是所工作的领域）带来进步和改变。一个人一生的价值，不在于他
拥有了什么，而在于他创造了什么。

关键字： MEMS  Iphone  Wii  赛迪顾问半导体产业研究中心咨询师 方圆

2007年苹果Iphone手机、任天堂Wii游戏机火爆销售一度轰动业界，这其中，MEMS加速度传感器功不可没，它所带来的全新使用体验以及独特人机交互方式不仅造就了产品本身的巨大成功，更是给日趋同质化的电子整机市场注入了新鲜血液。这也使得近三年我国整体MEMS市场得以迅速引爆，市场亦得以丰收。然而，经历过这一轮几近疯狂的增长后，2008年，在全球金融危机导致我国电子整机产量出货量下降的作用下，MEMS市场也不可避免地有所降温。这一刚刚开始发育且本应该急速发展的市场也因此提前进入理性增长前的调整期，MEMS市场增幅、MEMS产品应用领域、电子整机渗透率、主力厂商竞争格局也都呈现出新的特点：

加速度计市场增速陡然回落 需求、价格双力施压

在MEMS加速度计与3C产品的结合下，我国MEMS市场迅速激活。 2005-2007年，我国MEMS加速度计市场增速惊人，三年间复合增长率超过100%。然而，2008年，突然降临的全球金融危机使得我国电子整机产量增速出现不同程度的下滑，这也使得MEMS加速度需求增长随之下降。

此外，MEMS产品在电子整机中的应用虽然在很大程度上增加了产品的差异性和多样化，然而在当前经济环境下，消费者购买行为已明显趋于保守，MEMS产品带来的附加功能和独特使用体验无法充分调动其对相关终端产品的购买热情，2008年2季度开始，MEMS加速度计在电子整机产品中渗透增速应声回落。与此同时，随着消费类电子、手机、NB等终端产品价格下降压力进一步加大，相应的芯片成本控制更加严格，作为整机中最为新兴的应用，加速度计价格下降及利润压缩首当其中，这也使得2008年我国MEMS加速度销售额迅速下滑。而在MEMS加速度计市场下滑的拖累下，2008年我国MEMS整体市场增速较2007年亦降低近15%。

应用市场3C领域独占鳌头

伴随着MEMS技术的不断成熟以及应用领域的不断拓展，MEMS产品广泛地应用于喷墨打印头、投影仪、笔记本等计算机类产品以及手机等通讯产品以及MP3/MP4、游戏机等消费电子产品中，中国以超过全球20%的投影仪产量、超过40%的喷墨打印机及打印头产量、超过50%的手机产量、超过60%的游戏机产量、超过70%的MP3/MP4产量以及超过80%的笔记本产量强有力的拉动了喷墨打印头、DMD微镜阵列、加速度计以及硅麦克风等MEMS产品的消费，它们在3C领域的应用总量占据我国MEMS整体市场40%以上份额。此外，值得一提的是，在我国汽车电子产业迅速发展的推动下，我国汽车电子领域MEMS市场份额逐年攀升，2008年其市场份额超过30%。

在全球金融危机的波及下，2008年我国MEMS市场增速下滑的事实已无法否认。然而，更为重要的是，在未来新的经济环境下，中国MEMS市场是否能够突破重围，MEMS加速度计、MEMS压力传感器、光学显示等主力产品市场格局又将如何变化，MEMS又能否将其在消费电子、手机、NB的成功应用复制到医疗电子、光学显示等领域？新的杀手级应用将在何处？

新产品新应用合力强劲 市场发展将加速回暖

随着MEMS产品研发及规模化生产技术的不断提高，未来新型MEMS产品将不断涌现，新型MEMS平板显示产品，MEMS振荡器、MEMS RF开关、MEMS存储器、MEMS电池等产品将快速实现大规模商业化应用而广泛取代传统产品；此外，陀螺仪在数码相机图像稳定、汽车盲区导航中的新型应用、加速度计及压力计在各种医疗电子设备中的进一步普及、 MEMS显示器件与微型投影仪的结合，以及还将出现的各种富有创意和商业价值的新型应用，都将成为未来MEMS市场继续繁荣的保障。不断涌现的新产品和新应用将使得未来MEMS市场发展将更具活力、更加多样。

与此同时，在经济危机影响逐步减弱，电子整机产品增速逐步回升的推动下，未来，我国MEMS整体市场增长将强势回暖，市场规模加速扩大。

产品附加值增加 MEMS器件向模块/系统升级

从全球市场来看，相较于MEMS器件，附加值更高的MEMS模块和系统销售额远高于MEMS器件且面临价格下降压力较小。经历这次金融风暴，越来越多的MEMS厂商意识到，对于单纯MEMS产品，特别是主要应用于消费电子、手机、计算机等中的MEMS加速度计、硅麦克风等产品由于产品附加值较低，市场抗风险能力较弱，因而受整机价格波动影响较大，其销售额及利润因此容易迅速下滑。为进一步增强市场获利能力并建立产品独特优势，未来，越来越多的厂商将从单纯的MEMS器件供应商向附加值更高的MEMS模块及系统或方案供应商升级。

投资热情势必高涨 MEMS发展跨越历史

回溯历史，MEMS市场发展并非一帆风顺。90年代末，在.Com行业发展火爆的助燃下，以OMEMS为代表的MEMS市场随之热炒，大量资金纷纷涌入，而2000年.Com泡沫的突然破裂也使MEMS市场受到重创，投资热情降至冰点。随后，伴随着MEMS压力传感器在汽车中的普及、加速度计在消费电子应用中的快速蔓延， MEMS发展重新升温。虽然，突然降临的经济危机将这一良好态势再次打破。然而在MEMS新产品不断出现，产品应用领域不断拓展，MEMS生产、制造技术进一步发展的保障下，MEMS市场已经积蓄足够能量对抗风险，而经历过这两次考验后，未来MEMS市场发展也将更具理性，市场前景更为喜人，从而也必将成为半导体领域内最具投资潜力的细分领域之一。这一切也给我国MEMS市场传递这样一个信息：冬天虽已到来，但春暖花开已经不远。

 

经济衰退可能减少全球大学所受资助和预算，但也给高校带来了一些好消息。根据英国《自然》杂志从多所顶尖大学获得的数据，现在美国科学和工程博士申请量大增度增加。

 

近年来美国本土培养的科学家和工程师不够多，申请量提高将使得大学有更多的选择余地，一些教育界领导对现在申请量大增感到鼓舞。

 

这一现象符合以前经济衰退的情况，在困难时期，学生选择继续学业而不是去工作。但是教育界人士也怀疑，当前经济形势可能会使潜在的博士生不能获得财政支持。

 

近来的申请增长率让一些分析家感到吃惊，美国研究生院理事会主席Debra Stewart表示，一般在经济衰退开始和申请高峰之间会相隔一年。她认为下一年的申请数量会继续上升。

 

美国加州大学伯克利分校称，从去年开始博士申请数量增加近7%，今年已有11242人申请。根据美国国家科学基金会（NSF）最新综合数据，在美国，加州大学伯克利分校授予的科学和工程博士学位数量是最多的。

 

美国密歇根大学为全美这类学位授予量第二高，其综合申请量上升16%，工程专业更达21%，而物理学则略有下降。密歇根大学研究生院院长Janet Weiss表示，美国本土申请者上升幅度高于外国申请者。

 

近年来，美国一些商业和政治领袖对本国学生获得科学和工程博士学位相对较少这一现象表示忧虑。授予美国公民和永久居民的这类学位数量在90年代中期达到高峰，到2002年回落，之后很缓慢地升高。而同一时期，授予外国学生的博士学位上升了70%以上。尽管2001年恐怖袭击事件后外国学生数量减少，不过最近又开始回升。

 

在美国伊利诺伊大学香槟分校，今年本国学生申请也表现出同样的趋势，该校也是科学和工程博士学位授予数量居全美前五的学校，本土学生申请上升25%，国际学生申请上升13%。

 

美国麻省理工学院是美国该类学位授予数量第三多的大学，今年已经收到9475份博士申请，上升了6%。在之前的4年中，其申请数量每年都很稳定地上升4%。

 

其他学校，比如加拿大多伦多大学、美国约翰霍普金斯大学、美国杜克大学也同样报告了申请量的大幅度提升。

 

尽管研究生院院长将这看做正面信号，绝大多数大学并不大可能扩招，因为学校缺乏资源来支持更多的学生。Stewart表示，申请量增加“正好发生在大多数大学处于数十年来财政最困难的时候”。（科学网 徐青/编译）

 

 

 

 

PS: 前两天收到了第一封拒信，来自TAMU。系里小米说有2200多个申请者争夺100多个ECE PhD的名额，我想可能是因为TAMU的物美价廉人所共知的缘故。从前听说EE竞争惨烈，如今算是领教到了。从各大BBS上的情况来看，专业之间的差距确实很大——满屏的Chem、Biology的PhD offer，而EE PhD的AD却寥寥无几。至今大多申EE PhD的都处于三无状态，这也反映了申请者之多。对于那些基础学科的同学，无论牛否，好歹都握有几个像样的offer，而我们，EEer，或许有AD就已经很满足了。毕竟，每个学校就招这点人。

在这边要感谢一直支持我、关心我近况的朋友！若有好消息，一定第一时间同你们分享^^

 

为了提高电脑磁盘的存储密度，研究人员开始重新考虑磁性数据存储的概念。尽管过去技术研究的热点都集中在优化存储材料上，由西班牙和德国的科研人员组成的团队已经开始尝试不同的方法，通过提高磁性量级来提高存储密度。

这些研究人员来自于德国Rossendorf研究中心、西班牙巴塞罗那自治大学以及其他瑞士及美国的研究机构，成功地利用高度集中的离子束在材料表面了产生出非常小的磁区。

Rossendorf研究中心的Juergen Fassbender解释道，这种辐射域显现出磁场特性，由于所用的离子束可以高度集中，这种方法可以产生5至10纳米的微小磁场。

相比之下，当前的固定硬盘通常使用了镀有钴铬铂的玻璃盘片。研究人员在实验中使用了一种FeAl金属合金。如果这种方法被工业生产工艺所采用，材料都需要进行这样的盘片处理，不过这尚不是目前试验的主题。相反，研究人员对这种现象背后的理论证明更感兴趣。

该结果表明，如果工业工艺中成功的采用了这种技术，制造商可以提高磁性密度数十倍。另外，信号噪声比也将随之变强。信号噪声比在过去的磁性存储中由于磁性粒子紧缩而受到一定程度的恶化。Fassbender表示，这种情况不会在合金的方法中出现。

不过，在实现工业化应用的过程中还会有一些挑战。最大的挑战是研究人员在实验中在材料表面采用串行的“打点”串行磁性写入，但这不适用于大规模生产。一种解决办法是通过模具进行并写写入，这类似于当前芯片生产的光刻工艺。目前的光刻工艺允许写入结构的范围大约为30纳米，所以仍有很大空间以供新方法来提高磁性存储设备的密度。